Mini/Micro LED巨量转移关键技术与装备研究现状

摘要：

微型半导体发光二极管显示技术(mini/micro light emitting diode,简称Mini/Micro LED)是一种基于微型LED芯片的自发光显示技术,相较于液晶显示技术(liquid crystal display,简称LCD)和有机发光二极管显示技术(organic light-emitting diode,简称OLED),具有显著性能优势,被视为次世代显示技术的发展趋势.由于巨量转移技术与装备的限制,Mini/Micro LED显示设备尚未实现大规模量产.针对此问题,首先,根据现有Mini/Micro LED巨量转移工艺方法的不同工作原理,总结了3种主要工艺方法,即接触式微转印技术、非接触式激光转移技术和自组装转移技术;其次,调研了现有Mini/Micro LED巨量转移工艺方法中涉及到的技术与装备,归纳了其中的通用关键技术,即高速高精对位和视觉检测;然后,针对上述关键技术挑战,围绕Mini/Micro LED 新型显示装备若干关键技术与典型设备集成开发介绍了笔者的前期研究工作;最后,讨论了实现Mini/Micro LED大规模量产中存在的问题及发展方向.

关键词：微型半导体发光二极管显示技术、巨量转移、显示半导体装备、高速高精对位、振动抑制

所属期刊栏目：43

分类号：TH69(专用机械与设备)

资助基金：国家自然科学基金;广东省国际科技合作资助项目;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：839-849