压电驱动技术研究进展与展望

摘要：

压电驱动具有结构简单、构型多样、力密度高、精度高、响应快、断电自锁、无电磁干扰以及环境适应性好等突出优势,在超精加工、半导体制造、机器人、精密仪器、生命科学、航空航天和武器装备等领域均具有迫切的应用需求,已成为高端装备向高精尖发展的一项核心技术.压电驱动技术可为高端装备的突破和发展提供坚实的基础,具有重要的科学意义和实用价值.首先,从高端装备发展对精密驱动技术的实际需求出发,系统阐述了压电驱动技术的定义、分类及特点;其次,介绍了压电驱动技术的研究现状,并对压电驱动技术的典型应用进行了概述和分析;最后,对压电驱动技术进行了讨论与展望.

关键词：压电驱动技术、纳米级精密驱动、共振型压电驱动器、非共振型压电驱动器、超精密操控

所属期刊栏目：42

分类号：TB552;O426.9(声学工程)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-01-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共17页

页码：1045-1061