光学非球面检测平台误差补偿

摘要：

根据光学非球面检测平台结构,建立了误差补偿数学模型.用激光干涉仪检测三轴定位误差和直线度误差,采用最小二乘法拟合出多项式系数,得到误差曲线,叠加后实现了误差补偿.测量出3个运动坐标轴两两之间的垂直度误差,采用坐标旋转完成误差补偿.利用机构误差的分析和检定技术,完成非实时误差的补偿.利用标准球做了对比试验.结果表明,经误差补偿后的非球面检测平台精度明显提高.

关键词：光学非球面、检测、数据分析、补偿

所属期刊栏目：31

分类号：TG801(公差与技术测量及机械量仪)

资助基金：福建省自然科学基金资助项目2007J0320,2008F3107

在线出版日期：2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：229-232