超声键合系统接触界面非线性振动

摘要：

为了提高超声键合换能系统的键合强度,降低换能系统的非线性振动,提高芯片键合的稳定性,本文从超声波在超声键合系统中的传播出发,建立了超声波在接触界面处传播的微观模型.当静应力较小时,由于动应力的作用,动应力幅度大于静应力,两种材料接触界面会发生分离,使输出的超声波不完整,材料内部质点振动位移较小;当静应力逐渐增大时,材料进入弹性变形阶段,输出的超声波波形与输入的超声波的波形一致,质点的振动位移最大;当静应力太大时,材料进入塑性变形区域,由于动应力的加载与卸载,应力与应变存在迟滞性,材料内部存在残余应力与残余应变,材料出现硬化现象,使输出超声波波形发生畸变,材料内部质点的振动位移减小.在倒装键合平台上进行了该模型的键合试验,使用多普勒测振仪,测量得到劈刀末端的振动速度,键合完成后测试了芯片键合强度.试验结果证明了该模型的正确性.

关键词：超声波、非线性振动、接触界面、迟滞、粘着、分离

所属期刊栏目：31

分类号：TN4;TB52.3;TB552(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20060533068;国家自然科学基金资助项目编号:50605064,湖南省科技计划资助项目2007FJ3098

在线出版日期：2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：171-174