用莫尔测偏法在线快速检测非球表面形貌

摘要：

介绍了非球表面三维形貌检测技术的新方法——相移莫尔测偏法的测量原理、图像评价方法和测量装置.详细说明了测量装置的光路和相移器的设计原理及方法,对测量误差的来源进行了分析.为了检验该技术测量非球表面的精度、速度和稳定性,用干涉法对同一非球表面进行了光学测量比较.实验结果表明,该技术是一种测量精度高、抗干扰能力强、稳定性高且速度快的在线检测方法.

关键词：非球面、莫尔测偏法、相移技术、抗干扰性、在线检测

所属期刊栏目：22

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金59475082

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19