基于多轮廓型腔结构件表面DLC薄膜的制备与性能研究

摘要：

类金刚石碳膜是力学综合性能、耐磨损、耐腐蚀和透光性能好的薄膜,在先进制造技术领域得到了越来越多的应用.通过类金刚石(DLC)薄膜制备方法与机械特性的阐述,对不同磁控溅射法对多轮廓型腔结构件表面DLC薄膜结构性能的干扰制约,以及DLC薄膜工艺技术制定方案的关键问题进行深入探究.

关键词：类金刚石碳膜DLC、磁控溅射、多轮廓型腔、工艺性能

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：江苏省基础研究计划自然科学基金面上研究项目BK20151220,项目名称:“多轮廓型腔结构件磁控溅射类金刚石碳膜附着机理研究”

在线出版日期：2017-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：69-71