10.3969/j.issn.1672-545X.2008.11.017
微电子封装设备精密定位系统的分析
根据微电子封装设备定位平台高速高精度的特点,讨论了精密定位系统中工作台的机构形式、驱动方式、运动控制嚣、实时检测等关键技术的现状,为研发新型微电子封装高精密定位系统提供参考.
精密定位、XY工作台、驱动方式、运动控制器、实时检测
TB486.1(工业通用技术与设备)
2009-02-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
41-44
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10.3969/j.issn.1672-545X.2008.11.017
精密定位、XY工作台、驱动方式、运动控制器、实时检测
TB486.1(工业通用技术与设备)
2009-02-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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