基于压电陶瓷驱动器的微动平台控制技术

摘要：

压电陶瓷驱动器是近年发展起来的一种新型微位移控制器件,利用压电陶瓷的逆压电效应使之产生相应的应力和应变,可以驱动二维柔性铰链微动机构实现微位移,达到二维定位的目的.通过分析压电陶瓷的基本理论及其非线性特性和补偿措施,阐明压电陶瓷驱动器直接驱动徽动平台的控制技术.

关键词：压电陶瓷驱动器、非线性特性、微动平台

分类号：TN384(半导体技术)

在线出版日期：2009-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：25-27