氮对MPCVD单晶金刚石生长与含量研究进展

摘要：

微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术被认为是制备高纯单晶金刚石的首选方法.然而因为氮原子的半径与碳的原子半径相近,容易成为单晶金刚石生长层中的主要杂质,是阻碍MPCVD单晶金刚石推广应用的原因之一.经过国内外研究团队的对氮与MPCVD单晶金刚石的生长与氮杂质含量控制研究取得了一些结果.但是除此之外还需要解决氮掺杂提速与控制单晶金刚石生长层中氮杂质含量的控制统一问题,才能实现MPCVD单晶金刚石的高端领域应用.

关键词：MPCVD、单晶金刚石、氮含量、生长形貌

所属期刊栏目：34

分类号：TQ164

在线出版日期：2023-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：43-51