微波等离子体法沉积金刚石技术

摘要：

目前,微波等离子体CVD法被认为是一种理想的沉积金刚石的方法.近年来,我国 CVD金刚石行业加大资金投入,并在MPCVD领域取得了较大进展,CVD金刚石产量得到迅速增长.具体来看,从 2014 年的 34.5 万克拉发展到2019 年,我国 CVD金刚石产量增长至 95.8 万克拉以上,且在未来仍有着一定的增长空间.而随着技术的不断进步,市场需求的持续增长,我国 CVD 金刚石行业市场规模也在稳步扩大,发展到 2019 年已经增长至9750 万元以上,与上一年 7850 万元的市场规模相比,增长近24.2 个百分点,市场规模呈现出高速增长趋势.

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在线出版日期：2022-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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