金刚石作为散热材料在氮化镓基电子器件中的应用

摘要：

随着GaN基电子功率转化器的功率密度增加和尺寸减小,器件的散热成为实际应用的关键问题.金刚石在所有天然材料中具有最高的热导率,可用于与 GaN 集成以消散 AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管(HEMT)通道产生的热量.目前的金刚石基 GaN 晶片(GaN-on-diamond)制备技术包括三种策略:GaN与金刚石结合、金刚石在GaN上的外延生长和GaN在金刚石上的外延生长.

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在线出版日期：2021-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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