蓝宝石衬底退火中"亮点"缺陷的形成机理

摘要：

针对蓝宝石衬底退火过程中所产生的"亮点"缺陷,采用扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)对"亮点"区域的表面形貌及元素含量进行观察与检测,并根据对蓝宝石化学性质的理论分析,揭示出了蓝宝石衬底退火过程中表面"亮点"缺陷的形成机理,即"亮点"缺陷的形成主要是由于清洗过程中在蓝宝石衬底表面有碱性物质的残留,在退火过程中碱性物质在高温条件下与蓝宝石发生反应,生成了偏铝酸盐,熔融的偏铝酸盐填充蓝宝石衬底表面的微裂纹缝隙,形成所谓的"亮点"缺陷.通过揭示"亮点"缺陷的形成机理,可以减少甚至避免退火过程中蓝宝石衬底表面"亮点"缺陷的形成,提高产品的良品率,降低生产成本.

关键词：蓝宝石衬底、退火、"亮点"缺陷、形成机理

所属期刊栏目：33

分类号：TN305;TS933(半导体技术)

资助基金：福建省区域发展项目;国家自然科学基金资助项目

在线出版日期：2021-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：61-65