晶硅和蓝宝石加工用金刚石工具

摘要：

文章综述了金刚石工具向光伏、LED和半导体等新兴领域的发展,指出了金刚石工具越来越精细化的趋势;介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石加工过程中用到的金刚石工具,其中对金刚石线锯、高精密金刚石砂轮、金刚石超薄划片、高精度套料钻头和CMP修整器在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述.

关键词：单晶硅、多晶硅、蓝宝石、金刚石线锯、砂轮

所属期刊栏目：30

分类号：TQ164

在线出版日期：2019-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：47-51