金刚石基氮化镓(GaN)技术

摘要：

金刚石在目前所知的天然物质中具有最高的热导率,室温下的导热系数高达 2000Wm-1 K-1 ,是碳化硅导热系数的四到五倍.作为衬底材料,金刚石可以以数百纳米的尺寸沉积在 GaN 信道内,使晶体管设备在工作时能够有效散热.在高频、大功率 GaN 基高电子迁移率晶体管(HEMT)和电路的散热方面极有应用潜力.

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在线出版日期：2019-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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