PcBN刀具TiN涂层制备及性能研究

摘要：

通过JCP-350M2高真空多靶磁控溅射镀膜机,采用直流磁控溅射的方法,在PcBN刀具表面沉积TiN涂层.通过SEM、XRD等方法分析N2流量、Ar流量、温度、电流等参数变化对TiN涂层表面形貌、物相组成、涂层厚度和显微硬度的影响,找出制备TiN涂层的优化参数.

关键词：PcBN刀具、磁控溅射、TiN涂层、氮气、氩气

所属期刊栏目：30

分类号：TQ164

在线出版日期：2018-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10