10.3969/j.issn.1673-1433.2017.04.011
浅析电镀金刚石线在切割硅材料中的应用
电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟.文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的应用现状和发展前景.
电镀金刚石线、切割、硅材料、应用现状
29
TQ164
2017-10-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
48-50
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10.3969/j.issn.1673-1433.2017.04.011
电镀金刚石线、切割、硅材料、应用现状
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2017-10-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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