浅析电镀金刚石线在切割硅材料中的应用

摘要：

电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟.文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的应用现状和发展前景.

关键词：电镀金刚石线、切割、硅材料、应用现状

所属期刊栏目：29

分类号：TQ164

在线出版日期：2017-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：48-50