新兴工业材料加工用金刚石工具

摘要：

文章简单综述了金刚石工具在光伏产业、LED 和半导体等领域的应用，并介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石的加工流程和加工过程中用到的金刚石工具，其中重点介绍了金刚石圆锯片、高精度钻头、金刚石线锯、超细粒度金刚石砂轮和金刚石超薄切割片，最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述。

关键词：单晶硅、多晶硅、蓝宝石、砂轮、线锯

所属期刊栏目：28

分类号：TQ164

在线出版日期：2016-04-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-31