金刚石台阶合成工艺的研究

摘要：

通过对合成腔体的温度、测定精确控制,设计出合理的功率曲线,寻找出科学最短的合成工艺暂停时间,以便我们充分利用合成有效生长时间,提高工艺效率。根据不同的合成时间进行拍块处理检测,确定不同阶段金刚石生长速度和合成压力的关系,通过设计不同的台阶压力工艺曲线,有效地、有目的地控制金刚石的生长速度,最大限度地利用合成时间,在最短的时间内以达到优质高产的目的。实验结果表明,在金刚石生长过程中,合成温度将上升20℃~30℃,金刚石各阶段生长速度是不一致的,合理的台阶工艺,在保证质量的情况下,单产可以提高10%以上。

关键词：金刚石、测温、暂停时间、温度、压力曲线、台阶工艺

所属期刊栏目：28

分类号：TQ164

在线出版日期：2016-04-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19