超薄金刚石带锯镀层均匀性研究

摘要：

文章通过有限元计算方法对复合电沉积制备超薄金刚石带锯过程进行了模拟计算分析，并与实验结果进行对比。结果表明：复合电沉积制备超薄金刚石带锯(d ≤0.2mm)过程，超薄边引起的最高电流密度比最低电流高出3倍，并随镀层的增厚差距逐渐减小，高电流密度区的电流密度先快后慢下降，低电流密度区电流密度先慢后快增高；镀层增厚过程为顶端沉积速率先快后慢，底部沉积速率先慢后快，引起顶端与低端厚度约2倍差距；平均电流密度等效面顶部位移中间面外侧底部位于中间面内侧。最后与实验测试结果对比，模拟计算结果与实验测试结果相符。

关键词：均匀性、数值模拟、电流密度分布、超薄金刚石带锯

所属期刊栏目：28

分类号：TQ164

在线出版日期：2016-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8