脉冲激光微细加工金刚石机理的研究进展

摘要：

金刚石具有极高的硬度、导热率及优异的化学稳定性，广泛应用于切削刀具、磨具、导热器件、光学窗口等领域。脉冲激光尤其是超短脉冲激光可以对金刚石材料进行各种微细加工，是扩展金刚石材料在工业领域运用的一个重要手段，文章综述了国内外激光微细加工金刚石机理的研究进展，总结了脉冲激光在微细加工金刚石材料过程中的石墨化和材料蚀除机理。

关键词：激光技术、微细加工、金刚石、石墨化、蚀除

分类号：TN2;TQ4

资助基金：国家自然科学基金项目51275096;广东省高等学校科技创新项目2012KJCX0047

在线出版日期：2014-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：15-20