高温高压法金刚石单晶同质外延

摘要：

文章概述了高温高压法金刚石单晶同质外延的基本方法,重点介绍了合成工艺设计对最终产品的影响.有关传压介质标准粉在大单晶同质外延中的应用特点及金刚石大单晶的高温高压同质外延工艺设计是文章的重点.

关键词：大单晶、标准粉、高温高压、同质外延、间接加热、工艺

所属期刊栏目：25

分类号：TQ164

在线出版日期：2013-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：25-30