金刚石线锯切割设备现状分析

摘要：

随着光伏、半导体等高精端产业的发展,硬脆性材料,如晶体硅、蓝宝石、特种陶瓷等材料的切割加工显得尤为重要.近年来,世界各国大力投入研究开发,新工艺,新设备不断涌现.金刚石线锯切割成为研究和发展的主流趋势,文章介绍国外切割设备研究的最新进展以及国内发展状况,分析其性能优势,展望金刚石线切割设备应用前景.

关键词：线切割设备、金刚石线锯、综述、多线切割、金刚石环线切割机

所属期刊栏目：24

分类号：TQ164

资助基金：国家科技部科研院所技术开发专项资金,项目2011EG115007

在线出版日期：2012-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：49-52