10.3969/j.issn.1673-1433.2012.03.010
CVD金刚石薄膜技术发展现状及展望(下)
简要描述了CVD金刚石薄膜技术的发展历程.介绍了纳米特别是超纳米金刚石膜、CVD金刚石大单晶的技术特点及其应用.超纳米金刚石膜在MEMS(微机电系统)、电化学和生物医学上的应用和CVD金刚石大单晶是当前的研究热点.简言之,金刚石的发展向着更大或者更小的方向深入进行,即“非大即小”.
超纳米金刚石膜、CVD金刚石大单晶、综述
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TQ164
2012-11-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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