PWS精密固结金刚石线锯的研发

摘要：

介绍了两种类型固结金刚石线锯:树脂粘结的PWS-R型和电镀的PWS-E型,且均为多线锯锯床进行高效率和高精确度锯切而研发的.对这两种线锯进行了锯切单晶硅和蓝宝石晶棒试验以评估其性能.证实了这两种线锯比通常的游离磨料型线锯锯切具有高得多的效率.特别是PWS-E型线锯在锯切效率方面具有优越性,而PWS-R型线锯对晶片的损伤较少.

关键词：金刚石工具、线锯、固结、锯切

所属期刊栏目：24

分类号：TQ164

在线出版日期：2012-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：49-53