10.3969/j.issn.1673-1433.2012.02.005
使用光刻法在金刚石台面制备金属薄膜电极
金刚石对顶砧是实验室常用的产生流体静力学压力的装置,其核心部件是两颗对顶的金刚石.金刚石具有其它材料难以比拟的超高硬度和对电磁波的高透过率,所以金刚石压砧在高压研究中扮演着重要的角色.文章介绍一种光刻法在金刚石台面上制备金属薄膜电极用以测量材料电阻率的工艺.
金刚石对顶砧、高压、流体静力学压力、金属薄膜电极
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TQ164
2012-08-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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