形核密度对CVD金刚石涂层附着性能的影响

摘要：

采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金基体上进行金刚石的形核生长,使用扫描电镜(SEM)对金刚石涂层形核情况进行分析,研究了不同形核密度对CVD金刚石涂层附着力的影响.结果表明:当碳源浓度达到3％时,表面形核密度最高,约为107/cm2；浓度增大为4％时,形核密度降低.通过压痕实验对比分析得出形核工艺中碳源浓度为3％时沉积的金刚石涂层压痕最浅,压痕直径最小,金刚石涂层具有良好的附着性能.

关键词：化学气相沉积(CVD)、金刚石涂层、硬质合金、彤核密度

所属期刊栏目：24

分类号：TQ164

资助基金：国家自然科学基金51172278;科技人员服务企业行动计划项目2009GJA00033;北京市教委共建项目2010-583

在线出版日期：2012-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4