高速生长CVD金刚石单晶及应用

摘要：

文章简要地介绍了近年来国内外CVD金刚石单晶的高速生长和应用进展.实验中采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)方法,同质外延高速生长金刚石单晶,通过改变反应腔压强、反应气氛(在CH4／H2中引入氮气N2、二氧化碳CO2、氧气O2、)等,调制单晶生长速率、质量、颜色、表面粗糙度、光谱等特性.利用高温氢等离子体进行退火,可使金刚石单晶的颜色有很大的改善.研制了CVD金刚石单晶刀具,用于金属材料的曲面镜面加工.

关键词：高速生长、CVD、金刚石单晶、退火、金刚石工具

所属期刊栏目：23

分类号：TQ164

资助基金：国家自然科学基金50772041、51072066;新世纪优秀人才支持计划NCET,06-0303;吉林省科技厅科技发展计划项目20080509

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5