圆柱形衬底金刚石涂层的制备与表征研究

摘要：

采用偏压增强热丝化学气相沉积法(BE-HFCVD),以WC-Co硬质合金圆柱体为衬底沉积金刚石薄膜.研究了提高金刚石薄膜形核密度和涂层附着力的新型复合衬底预处理方法,研究结果表明,采用新型复合衬底预处理工艺后,衬底表面凸凹不平,粗糙度达到366nm,相比未采用预处理工艺的表面粗糙度94.5nm,可以大大提高金刚石形核密度,并且处理后钻的成分含量从6%减低到0.4%,在很大程度上提高了金刚石涂层与村底之间的附着强度.研览结果还表明制备的金刚石涂层均匀且具有较好的表面质量.

关键词：金刚石薄膜、复合预处理方法、表面粗糙度、附着力、涂层

所属期刊栏目：21

分类号：TQ164

资助基金：上海市科技创新行动计划重点项目075211016;上海市科技创新行动计划专项08DZ0501700

在线出版日期：2010-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-21