10.3969/j.issn.1673-1433.2009.04.001
热丝CVD法制备大面积高质量自支撑金刚石厚膜
采用热丝CVD方法,在Ф110mm的钼基体上,以丙酮为碳源,在高纯氢的作用下,成功地合成了高质量自支撑金刚石厚膜.X射线、SEM和拉曼光谱分析表明,所合成金刚石厚膜质量均匀,晶体单一、完好、纯度高,生长速度快,已接近制备实用化的金刚石膜的要求.
热丝CVD、大面积、高质量、金刚石厚膜
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TQ164
2009-11-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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