CVD金刚石制备方法及其工业化前景分析

摘要：

文章对多种CVD金刚石膜制备方法进行了介绍,同时对近年来国内外CVD金刚石技术及其产业发展状况、应用领域开发、潜在的市场前景等方面进行了分析讨论.指出:作为21世纪的高新材料,CVD金刚石及其工具产品的产业化发展,必将在科技、军工及民用工业等技术领域起非常重要的作用.

关键词：CVD、金刚石膜、沉积法、综述

所属期刊栏目：21

分类号：TQ164

在线出版日期：2009-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：33-39