10.3969/j.issn.1673-1433.2008.04.004
影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题
直流喷射化学气相沉积金刚石膜,其完整性一直是个难以解决的技术难题,并且直接影响了其推广应用.文章通过研究金刚石膜的质量、衬底与膜的结合力、以及衬底的膨胀系数等,分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素.
CVD金刚石膜、完整性、膨胀系数
20
TQ164
2008-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
11-13
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1673-1433.2008.04.004
CVD金刚石膜、完整性、膨胀系数
20
TQ164
2008-11-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
11-13
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn