轮廓精度50nm金刚石车刀的研磨加工

摘要：

探讨研磨加工机与研磨工艺,目的是提高超精密加工用金刚石车刀刀尖半径轮廓的研磨精度.超精密加工机的运动精度正在逐年提高,期待着支撑其加工精度 根基的金刚石车刀的轮廓精度能得到改善.根据传统的金刚石加工方法,调查了晶面研磨方向与可加工性的关系,确定了研磨条件.结果,开发出新型研磨加工机,对于刀尖半径3.9 μm的金刚石车刀,其轮廓精度48nm在有效角度130°的范围内得到了确认.

关键词：金刚石刀具、形状精度、超精密加工、金刚石研磨

所属期刊栏目：20

分类号：TQ164

在线出版日期：2008-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：54-55