固着磨料多线锯研究进展

摘要：

随着半导体工业的高速发展以及太阳能光电池产业的突起,对单晶以及多晶硅材料的需求不断增加.精密切割工具不仅要满足切割的质量,还要保证现代化生产的高效率.采用传统内圆锯片切割以及游离磨料多线锯切割逐渐显示出各种不足.而采用固着磨料多线锯切割是快速发展起来的一种精密切割技术.该文综述了固着磨料多线锯的锯丝制造方法,总结了固着磨料多线锯加工硬脆材料的锯切工艺,介绍了目前使用较多的多线锯切割机床,并展望了提高固着磨料多线锯锯丝寿命的可能途径.

关键词：金刚石工具、固着磨料多线锯、综述、硅片、精密切割

所属期刊栏目：19

分类号：TQ164

资助基金：国家自然科学基金50605009;广东省科技厅科技计划2005B10201027;广东工业大学校科研和教改项目043035

在线出版日期：2008-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5