类金刚石砂轮的开发

摘要：

新开发类金刚石(DLC)砂轮所用的DLC纤维是涂敷DLC膜的铝板经压延机单向压延而成的,DLC膜断裂成纤维状,而且纤维的方向保持一致,经几层叠合,由结合剂固结并烧结制成DLC纤维砂瓦,用其制作出杯形砂轮.然后,利用这种砂轮进行硅片、石英、SKD-11淬硬钢的磨削.硅片的磨削结果表明,加工表面粗糙度可达Ry=15nm(Ra=2nm).

关键词：DLC涂层、DLC纤维、定向排列、DLC砂轮

所属期刊栏目：19

分类号：TQ164

在线出版日期：2007-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：51-52