人造金刚石合成工艺中应用模糊控制的探讨

摘要：

人造金刚石单晶的高压合成过程是一个复杂的转化过程.把模糊控制技术引入到人造金刚石单晶生产控制中,可提高控制精度,稳定合成腔体内温度压力场,介绍了有关模糊控制技术的基础知识,对人造金刚石合成温度的模糊控制工艺进行了有益的探讨,在模糊控制器的输入量模糊化、模糊规则判别、模糊输出量精确化等方面进行了简单的论述,给出了在PC上实现模糊控制的部分程序示例,并提出了实现模糊控制应注意的一些问题.

关键词：模糊控制、人造金刚石、工艺、合成

所属期刊栏目：15

分类号：TQ164

在线出版日期：2003-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8