关于划片机开发、试制的探讨
介绍了富安公司在数控砂轮划片机开发、试制过程中一些做法与体会,我们在收集国内外有关资料的同时,充分运用公司在数控系统的开发和机械设计制造上积累的丰富经验,将机床制造技术用于IC装备的开发制造.并阐述了Z轴动态零位设置功能.Y轴高精度定位、CCD视觉找准系统.工作台盘(吸盘)气槽加工、主轴系统开发等技术,还对公司目前已投产的SFA-0024T 6″及SFA-0511T8″划片机的技术参数及特点作了简介.
划片机、系统开发、机械设计制造、制造技术、高精度定位、数控系统、零位设置、技术参数、充分运用、准系统、已投产、工作台、槽加工、资料、装备、主轴、吸盘、体会、特点、收集
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2009-03-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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