状态方程靶的纳米胶连复合技术研究

摘要：

为了模拟和解释材料在激光冲击产生的高应变率和压力下的实验现象,物理实验对状态方程实验靶多层材料之间的胶层厚度提出了亚微米级的需求.针对现有复合方法的不足,本文采用引发式化学气相沉积方法制备固体原胶薄膜,并采用液相活化方法对原胶薄膜进行活化和固化,实现了状态方程实验靶的亚微米级无损胶连复合.采用多种表征技术对纳米胶连复合样品的胶层厚度及形貌进行表征,胶层厚度为亚微米级,最薄时仅300 nm.本文所报道的纳米胶连复合方法能为激光加载压缩物理实验的精度提高和实验结果的准确解释提供制靶技术保障.

关键词：纳米胶连、化学气相沉积、pGM A薄膜、液相活化

所属期刊栏目：57

分类号：O469(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家自然科学基金11905177

在线出版日期：2023-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：850-856