用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究

摘要：

通过磁控溅射法制备了用于微结构气体探测器(MPGD)的新型类金刚石碳(DLC)阻性电极,研究了靶电流、真空度、元素掺杂等因素对DLC阻性电极面电阻的影响规律,以及DLC阻性电极结合强度和内应力的优化方法.结果表明:随靶电流的增大,DLC阻性电极的面电阻降低;真空度越高,DLC阻性电极的面电阻越小,稳定性越好;氢元素和氮元素的掺杂使得DLC阻性电极的面电阻增大,且氢元素影响更加明显.本文方法为新构型微结构气体探测器的研发和性能提升奠定了技术基础.

关键词：微结构气体探测器、类金刚石碳阻性电极、面电阻

所属期刊栏目：54

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：核探测与核电子学国家重点实验室资助项目;国家自然科学基金青年科学基金资助项目

在线出版日期：2020-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：968-974