工作压强对SiC空心微球结构及性能的影响

摘要：

采用化学气相沉积(CVD)-高温热解法,在不同工作压强条件下,制备了惯性约束聚变靶用SiC空心微球.利用X射线光电子能谱仪、扫描电子显微镜、白光干涉仪、X射线照相机对SiC空心微球的成分、表面形貌、表面粗糙度、球形度以及壁厚均匀性进行了测试与分析.研究结果表明:随工作压强的增加,SiC空心微球的表面均方根粗糙度先减小后增加,当工作压强为15 Pa时,表面均方根粗糙度达到最小值98 nm;随工作压强的增加,SiC空心微球的球形度未发生明显变化,且均优于97％;而壁厚均匀性则随工作压强的增加先增加后减小,当压强为15 Pa时,壁厚均匀性可达95％.

关键词：SiC空心微球、压强、成分、表面粗糙度、球形度、壁厚均匀性

所属期刊栏目：52

分类号：O469(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：中国工程物理研究院超精密加工重点实验室基金资助项目ZD16002

在线出版日期：2018-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1897-1903