铀上激光辅助化学气相沉积镍薄膜研究

摘要：

为防止金属铀的腐蚀,本文采用激光辅助化学气相沉积(LACVD)方法在铀上制备了镍薄膜.采用SEM、XRD分析了薄膜的形貌、物相以及界面特性,采用黏胶拉伸测试表征了膜-基结合性能,采用电化学极化法分析了薄膜的抗腐蚀性能.结果表明:压力和温度对化学气相沉积(CVD)方法制备镍薄膜的质量有较大的影响.随着基底温度和沉积气压的降低,薄膜变得致密、平整,质量提高.在优化的工艺条件165℃ 、3 Pa下,CVD方法所得镍薄膜非常致密.采用LACVD方法时,激光能量为200 mJ时所制得的薄膜致密,300 mJ时膜变得粗糙.无激光辅助时,CVD方法所制得的薄膜较易剥落,激光辅助下所得薄膜的膜-基结合力较好.LACVD方法大幅提高了薄膜的抗腐蚀性能,抗腐蚀性能的提高主要源于激光辅助使薄膜致密化,提高了薄膜与基底的结合力.

关键词：激光、化学气相沉积、防腐蚀、镍薄膜

所属期刊栏目：51

分类号：TG179(金属学与热处理)

资助基金：中国工程物理研究院发展基金资助项目20100203027

在线出版日期：2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：411-417