高激光损伤阈值化学膜透射元件的研制

摘要：

以K9和熔石英玻璃为基底结合溶胶-凝胶镀膜技术，制备了用于负载1064 nm和355 nm激光辐射的高损伤阈值透射玻璃元件。综合考虑基底表面和亚表面质量及薄膜质量，系统分析了影响激光损伤阈值的因素，并通过基底加工与薄膜改性的结合大幅提高了元件的损伤阈值。在薄膜改性方面，采用溶胶内添加聚乙二醇和氨气氛处理相结合的方法，使薄膜的结构缺陷减少，孔径分布更合理，所得薄膜的抗激光损伤能力远大于未处理的基底的。在基底加工方面，采用超级抛光和化学腐蚀的方法获得了超光滑表面和低缺陷亚表面，使用于红外波段的K9玻璃和紫外波段的熔石英玻璃的激光损伤阈值分别提高到原来的1.3和4.1倍。将上述改性后的薄膜镀在改性后的基底上，所得透射元件的激光损伤阈值不小于相应基底的。

关键词：激光损伤、二氧化硅薄膜、溶胶-凝胶、超级抛光

分类号：O439(光学)

资助基金：上海市科委纳米专项资助项目11nm0501600；国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目U1230113；国家科技支撑计划资助项目2013BAJ01B01

在线出版日期：2014-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：763-768