合肥光源电容式静力水准传感器的标定

摘要：

本文阐述了电容式静力水准传感器的工作原理，对其在标定过程中选用的金属材料的目标电极，而非正常工作下的蒸馏水，运用Ansoft Maxwell有限元分析软件进行了仿真计算，比较了不同情况下传感器获得的电容值的差异，并分析了差异性存在的原因。基于自主研制的电容式静力水准传感器样机进行了实验验证。结果表明：电容式静力水准传感器在标定和工作时应选择相同属性（电阻率，介电常数）材料的目标电极，否则标定后的传感器存在误差，且电阻率对该误差影响较大。

关键词：电容、静力水准传感器、标定、Ansoft Maxwell

分类号：TL505(加速器)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11075151

在线出版日期：2013-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1648-1651