立式靶丸AFM表面轮廓仪系统精度测试
研制了立式轴系结构靶丸AFM表面轮廓仪,对测量装置的精度进行了系统的测试.针对影响测量结果的不确定性因素,分别从气浮轴系回转误差、系统静态噪声误差以及综合测量误差几个角度开展实验研究.采用标准球及两步回转误差分离法获取了气浮轴系系统误差数据,在实际测量时作为系统误差进行消除.综合测量实验证明,该系统的测量噪声峰谷极差约22 nm,RMS为5.2 nm.
ICF靶丸、AFM、表面轮廓仪、立式轴系结构、测量精度
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TH744.3(仪器、仪表)
国家自然科学基金资助项目51005061;教育部新教师博士点基金资助项目20092302120006
2012-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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