脉冲激光背照射单粒子效应实验研究

摘要：

为避免集成电路正面金属层对激光的阻挡,采用背面照射的方法对非加固SRAM IL-2和加固SRAM 1020-2进行了单粒子效应实验.对脉冲激光背面照射实验的相关问题进行了探讨.比较了两种器件产生单个位翻转的有效激光阈值能量,验证了器件加固措施的有效性.

关键词：单粒子效应、SRAM、背面辐照、脉冲激光、抗辐射加固

所属期刊栏目：45

分类号：TN386(半导体技术)

在线出版日期：2012-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：884-887