基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术

摘要：

研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术,搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量.结果表明,该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响,测量精度达到干涉仪水平.

关键词：共焦、薄膜、厚度、测量

所属期刊栏目：44

分类号：TL33(核反应堆工程)

在线出版日期：2011-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：576-578