脉冲离子束轰击靶的热效应数值模拟

摘要：

分析了脉冲离子轰击靶膜和衬底的热效应,在能量较低的情形下,离子轰击处理为靶膜表面热流输入.采用有限元程序,对能量为600keV、束流为12mA的不同束斑半径的脉冲离子流轰击Cu基Ti靶的热传导进行了数值计算,得到了热传导清晰物理图象.

关键词：脉冲离子束、靶、数值模拟

所属期刊栏目：44

分类号：TL51(加速器)

在线出版日期：2011-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：572-575