UO2薄膜制备和光学常数及厚度测定

摘要：

利用磁控溅射法制备了UO2薄膜,通过扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪及X射线衍射仪,对薄膜进行了分析和表征.利用反射光谱法测得了薄膜在400～1 200 nm波长范围内的反射率.通过对反射图谱进行数据拟合,得出UO2薄膜在450～950 nm波长范围内的折射率为2.1～2.65,消光系数约0.51,厚度为637 nm.

关键词：UO2、薄膜、反射光谱、厚度、光学常数

所属期刊栏目：44

分类号：TL99

在线出版日期：2011-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1126-1130