色分离光栅的溶胶凝胶化学法制备工艺

摘要：

以锆酸丁酯为源,通过溶胶凝胶法制备了一种光敏ZrO2溶胶,在熔石英表面通过提拉法镀制具有负性光刻胶性质的光敏凝胶薄膜.在此基础上,设计色分离光栅(CSG)的结构,通过二次曝光、显影过程,制备了具有三台阶结构的CSG.对光栅形貌进行表征,周期为210 μm,单台阶高度约为500 nm,光栅面积为30 mm×30 mm.采用Nd:YAG激光器对衍射效率进行了测量,测得CSG对355 nm激光衍射效率达到约88 4%,1 064 nm及532 nm激光的衍射效率分别为5 7%和4 2%.

关键词：色分离光栅、衍射效率、光敏

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：上海市教委科研创新项目资助重点项目08ZZ22;上海市科委启明星跟踪计划项目资助08QH14023;国家科技支撑计划资助项目2009BAC62B02;新世纪优秀人才支持计划资助项目NCET-08-0405;上海市科委纳米专项资助0952nm00900

在线出版日期：2010-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：799-803