电荷耦合器件的60Coγ射线辐照损伤退火效应

摘要：

基于60Co γ射线辐照后的商用电荷耦合器件(CCD),对室温退火和100 ℃高温退火实验进行研究.考察了CCD的功耗电流、输出信号电压波形及光响应灵敏度等参数的变化.结果表明,CCD辐照过程中产生的氧化物电荷和界面态导致了CCD参数在室温和高温退火中的不同表现.

关键词：商用CCD、氧化物电荷、界面态、退火效应

所属期刊栏目：44

分类号：TN386.5(半导体技术)

在线出版日期：2010-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：603-607