脉冲激光能量等效重离子LET研究

摘要：

基于重离子和脉冲激光与Si材料相互作用的机理分析,提出了脉冲激光能量等效重离子LET的等效判据.该判据认为:如果半导体材料每吸收1个光子就能产生1个载流子,则脉冲激光和重离子诱发1个载流子所需的能量是等效的.利用该等效判据及Beer定律,推导出线性吸收条件下脉冲激光能量与重离子LET之间等效换算公式.本工作计算的脉冲激光能量等效LET结果与国外文献结果一致.

关键词：脉冲激光能量、重离子LET、等效计算

所属期刊栏目：44

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：真空低温技术与物理国家级重点实验室基金资助项目9140C5503070803

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：489-493